[16a-P6-1~22] CS.5 9.4熱電変換,16.2エナジーハーベスティングのコードシェアセッション

[16a-P6-13] 高周波マグネトロンスパッタリング法によるビスマス・テルル薄膜の構造と熱電特性に及ぼす金属中間層膜厚の影響

〇佐々木 勇輔¹、高尻 雅之¹ (1.東海大院工)

キーワード：熱電、中間層、高周波マグネトロンスパッタリング

東日本大震災の原発事故により，環境発電技術の期待が高まっている．その技術の中に熱電発電がある．しかし，コストが高く，性能が低いといった課題がある．本研究では，コスト削減として薄膜技術を用いた．そして，金属中間層の材料や膜厚により， Bi-Te薄膜の結晶構造を改善し，熱電物性の向上を目的とした．最終目標として，性能と密着性を高めた薄膜を薄膜型モジュールに応用することを目標としている．