[16a-P6-1~22] CS.5 9.4/16.2 Code-sharing session

[16a-P6-20] Temperature Dependence of Fermi Energy Evaluated by KFM

〇(DC)Yuhei Suzuki¹, Akito Oka¹, Navaneethan Mani¹, Takanobu Watanabe², Hiroya Ikeda¹ (1.Shizuoka Univ., 2.Waseda Univ.)

Keywords:KFM, Si, Temperature mesurement

ナノ構造熱電材料に対する非接触・非破壊のゼーベック係数測定のために，Kelvin-probe force microscopy (KFM)によるフェルミエネルギーの温度依存性測定を行った．測定したフェルミエネルギーはn型Siとp型Siで反対の符号を示し，高濃度の試料において絶対値で低い値を示した．これらの傾向は一般的な半導体の傾向と一致しており，KFMによる温度算出法の有効性を示唆している．