[16p-213-1~14] 16.1 基礎物性・評価・プロセス・デバイス

[16p-213-1] Ru-La前駆体物質の変形機構

〇三原 純一¹、廣瀬 大亮¹、下田 達也¹ (1.北陸先端大)

キーワード：プリンテッドエレクトロニクス、インプリント、レオロジー

ナノレオロジープリンティングは機能性インクをゲル化して熱ナノインプリント法で直接インプリント成形し焼結することで所望のパターンを得る手法である。先行研究では幅30nmのRu-La-O配線パターン作製に成功している。その中で、RuとLaの混合比による成形性の変化が確認されているが、理由は明らかになっていない。本研究ではRu-Laゲルの変形性を評価するため粘弾性測定を行い、熱分析や高エネルギーX線回折結果と合わせて考察した。