[16p-303-1~7] 自動走行に資する車載MEMSデバイスと関連技術

[16p-303-2] 光MEMSデバイスのレーザレーダ応用

〇土屋 智由¹ (1.京大工)

キーワード：MEMS、LiDAR、振動ミラー

自動走行・自動運転車に不可欠な車両周辺状況把握システムとしてレーザを周囲に照射し，反射光を測定して周辺にある物体の位置，距離を把握するレーザレーダの利用が期待され，そのレーザ光を走査する素子としてMEMS(微小電気機械システム)デバイスが小型化，低コスト化などの要求から使用が検討されている．MEMSを用いた振動ミラーデバイスを中心に現状と課題を報告する．