[16p-315-1~11] GFIS（電界電離ガスイオン源）ガスイオン顕微鏡技術とその材料・デバイス研究開発への応用：現状と今後の展望

▲ [16p-315-1] Welcome to symposium on GFIS ion microscopy and its applications

〇小川 真一¹ (1.産総研)

キーワード：GFIS ion microscopy