[16p-316-1~7] 3.14 Optical control devices and optical fibers

[16p-316-2] Fast Stabilization of Swept Light Source with Irradiated KTN Crystal

〇Takashi Sakamoto¹, Yuzo Sasaki¹, Seiji Toyoda¹, Joji Yamaguchi¹, Mahiro Yamada², Masatoshi Fujimoto², Shogo Yagi³ (1.NTT Device Innovation Center, 2.Hamamatsu Photonics, 3.NTT Advanced Technology)

Keywords:KTN, optical scanner, swept light source

KTN光偏向器を用いた波長掃引光源において、微弱光をKTN結晶に照射しながら光源を動作させることにより、本光源を用いたシリコン基板厚の計測精度が、立ち上がり時間2分以下で標準偏差が厚みの0.01%以内に収まり、かつそれが230時間以上維持することを確認した。