[16p-316-1~7] 3.14 光制御デバイス・光ファイバー

[16p-316-2] 光照射による波長掃引光源の早期安定化

〇坂本 尊¹、佐々木 雄三¹、豊田 誠治¹、山口 城治¹、山田 真広²、藤本 正俊²、八木 生剛³ (1.NTTデバイスイノベーションセンタ、2.浜松ホトニクス、3.NTTアドバンステクノロジ)

キーワード：KTN、光偏向器、波長掃引光源

KTN光偏向器を用いた波長掃引光源において、微弱光をKTN結晶に照射しながら光源を動作させることにより、本光源を用いたシリコン基板厚の計測精度が、立ち上がり時間2分以下で標準偏差が厚みの0.01%以内に収まり、かつそれが230時間以上維持することを確認した。