[16p-318-1~16] 11.2 薄膜，厚膜，テープ作製プロセスおよび結晶成長

[16p-318-14] MgB₂とSm-1111の超薄膜作製と電気二重層トランジスタへの展開

〇迫田 將仁¹、菊地 素之¹、中島 捷¹、瀧中 建治¹、石井 陽大¹、内藤 方夫¹ (1.農工大工)

キーワード：超薄膜、SmFeAs(O,F)、MgB2