[16p-411-1~10] 6.1 強誘電体薄膜

[16p-411-1] [講演奨励賞受賞記念講演] 走査型プローブ顕微鏡によるBiFeO₃薄膜の正圧電応答の定量的解析

〇苅谷 健人¹、吉村 武¹、藤村 紀文¹ (1.阪府大院工)

キーワード：圧電、BiFeO3、プローブ顕微鏡

本研究では新規に開発した走査型プローブ顕微鏡を基盤とした微視的領域における正圧電応答の観察手法を用いてBiFeO₃薄膜のドメイン壁が正圧電応答に及ぼす寄与を定量的に解析した。エンジニアードドメイン構造を有する(100)膜において、109ºドメイン壁のみに囲まれたドメインと比較して、71ºドメイン壁を有しているドメインでは平均して30 %程大きな圧電応答が観察され、71ºドメイン壁が正圧電応答に大きく寄与することが示唆された。