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一般セッション(口頭講演)

6 薄膜・表面 » 6.1 強誘電体薄膜

[16p-411-1~10] 6.1 強誘電体薄膜

6.1と13.3と13.5のコードシェアセッションあり

2017年3月16日(木) 16:00 〜 18:30 411 (411)

山田智明(名大)

17:00 〜 17:15

[16p-411-5] Pb(Zr,Ti)O₃薄膜の斜め成膜およびその特性評価に関する研究

〇(B)丸山和樹¹、神野伊策¹、肥田博隆¹、寺元卓也¹ (1.神大工)

キーワード：薄膜、圧電、PZT