[16p-411-1~10] 6.1 Ferroelectric thin films

[16p-411-8] Determination of Mechanical Quality Factor for Piezoelectric MEMS Vibration Energy Harvester

〇Masaaki Aramaki¹, Kyohei Izumi¹, Takeshi Yoshimura¹, Shuichi Murakami², Norifumi Fujimura¹ (1.Osaka Pref. Univ., 2.TRI Osaka)

Keywords:piezoelectric material, vibration energy harvester, BiFeO3

共振型の振動発電素子の最大発電量は、錘の重さと素子の機械的品質係数Q_mに比例するが、Q_mの評価方法についてはあまり議論が行われていない。そこで素子の機械的特性、発電特性からQ_mの評価を行った。インピーダンス整合時のQ値は、圧電効果により減衰されるが、インピーダンス整合させない状態では出力電圧の共振カーブから機械的な特性であるQ_mを簡便に決定することができた。