[16p-411-1~10] 6.1 強誘電体薄膜

[16p-411-8] 圧電MEMS振動発電素子における機械的品質係数の評価

〇荒牧 正明¹、和泉 享平¹、吉村 武¹、村上 修一²、藤村 紀文¹ (1.阪府院工、2.大阪府立産技研)

キーワード：圧電体、振動発電、BiFeO3

共振型の振動発電素子の最大発電量は、錘の重さと素子の機械的品質係数Q_mに比例するが、Q_mの評価方法についてはあまり議論が行われていない。そこで素子の機械的特性、発電特性からQ_mの評価を行った。インピーダンス整合時のQ値は、圧電効果により減衰されるが、インピーダンス整合させない状態では出力電圧の共振カーブから機械的な特性であるQ_mを簡便に決定することができた。