[16p-412-1~20] 13.5 デバイス／集積化技術

[16p-412-15] 熱電素子応用を目指したn型Ge_0.94Sn_0.06単結晶薄膜の基礎物性評価

〇岩橋 泰正¹、黒澤 昌志^1,2,3、内田 紀行⁴、大石 佑治⁵、前田 辰郎⁴、中塚 理¹、財満 鎭明^1,6 (1.名大院工、2.名大高等研究院、3.JSTさきがけ、4.産総研ナノエレ、5.阪大工、6.名大未来研)

キーワード：GeSn、熱電