[16p-412-1~20] 13.5 デバイス／集積化技術

[16p-412-7] 基板貼り合わせによるSi基板上薄膜InGaAs-OI TFET作製プロセスの検討

〇安 大煥¹、尹 尚希¹、竹中 充¹、高木 信一¹ (1.東大院工)

キーワード：InGaAs、トンネルFET、On Insulator