[16p-414-1~8] Emerging trends in energy harvesting: Toward Internet of Things

[16p-414-6] MEMS Vibration Energy Harvesting Using Lead-free Ferroelectric Films

〇Takeshi Yoshimura¹, Shuichi Murakami², Norifumi Fujimura¹ (1.Osaka Pref. Univ., 2.TRI Osaka)

Keywords:Piezoelectric, Ferroelectric, Vibration Energy Harvesting

圧電方式の振動発電素子は小型化、高効率化が可能という特徴を有している。本講演では、振動発電応用に適した非鉛強誘電体薄膜の開発と高効率素子の設計技術について述べる。