[16p-414-1~8] エナジーハーベスティングの最新動向：IoT時代の実現に向けて

[16p-414-6] 非鉛強誘電体薄膜を用いたMEMS振動発電

〇吉村 武¹、村上 修一²、藤村 紀文¹ (1.阪府大院工、2.大阪府立産技研)

キーワード：圧電、強誘電体、振動発電

圧電方式の振動発電素子は小型化、高効率化が可能という特徴を有している。本講演では、振動発電応用に適した非鉛強誘電体薄膜の開発と高効率素子の設計技術について述べる。