[16p-418-1~17] 3.8 光計測技術・機器

[16p-418-17] 垂直入射の簡易光学照射系によって屈折率測定を可能とする表面プラズモンアンテナ付ＳＯＩフォトダイオードの検討

〇佐藤 弘明¹、猪川 洋¹ (1.静岡大電子研)

キーワード：SOIフォトダイオード、表面プラズモンアンテナ、屈折率測定

筆者らはこれまでに、金のライン・アンド・スペース (L/S) 型表面プラズモン (SP) アンテナ[2]をSOI (silicon-on-insulator) フォトダイオード上に配し、光を斜めに入射することによってSPアンテナ近傍の屈折率変化を測定する方法を提案した。本報告では従来の光学照射系に着目し、光が垂直入射するシンプルな光学系によって屈折率測定が可能なデバイス構造を、有限差分時間領域 (FDTD) 法を用いた電磁界解析結果から検討する。