[16p-422-1~11] 3.2 Equipment optics and materials

[16p-422-8] Spatial Light Modulator Based on LCOS Technology

〇masashi Nishitateno¹, Lihe Zheng², Yasuki Sakurai¹, Takunori Taira² (1.santec, 2.Inst. for Molecular science)

Keywords:LCOS, UV, Spatial light modulator

従来のLCOS（Liquid Crystal On Silicon）素子は可視域での使用を前提に開発されたため液晶材料の吸収端波長は通常400 nm前後にあり、紫外（UV）光では動作しないのが一般的である。今回、吸収端波長が350 nm以下にあるUV耐性液晶を用いてLCOS素子を試作、そのUV光耐力を従来のディスプレイ用（可視用）LCOS素子と併せて比較評価したので報告する。