[16p-502-1~10] 先進パワーデバイスのプロセス技術

[16p-502-10] 高温・高速動作ダイヤモンドパワーデバイスのプロセス技術

〇梅沢 仁¹ (1.産総研)

キーワード：ダイヤモンド、パワーデバイス、プロセス技術

ダイヤモンドは高い絶縁破壊電界や移動度、物質中最大の熱伝導率や高いショットキー障壁高さなどから、高温でも大出力動作、低消費電力および高速動作が同時に可能な、高機能な次々世代半導体材料としての可能性が議論されている。本講演ではダイヤモンドの材料性能と特徴を説明し、プロセス技術とデバイス性能を比較議論して紹介する。