[16p-512-1~10] 薄膜・多層膜の界面イメージング

[16p-512-1] 界面ナノ構造評価のための高分解能レーザー励起光電子顕微鏡

〇(PC)谷内 敏之¹、元結 啓仁¹、辛 埴¹ (1.東大物性研)

キーワード：光電子顕微鏡、埋もれた界面、磁性

光電子顕微鏡(PEEM)は紫外線を入射光として利用し、放出された光電子の実空間イメージングを行うことで、試料の仕事関数の大きさに敏感なイメージングが可能な手法であり、主に表面の化学状態や磁気状態の観察に用いられてきた。本研究では埋もれたナノ構造の観察を実現するため、連続波深紫外レーザーと収差補正機構を有した超高空間分解能PEEMを組み合わせることで埋もれた界面のナノ観察に成功したので報告する。