[16p-B5-1~15] 13.2 探索的材料物性・基礎物性

△ [16p-B5-15] 透明バイポーラ酸化物半導体: ZrOS

〇新井 健司¹、飯村 壮史¹、金 正煥²、細野 秀雄^1,2 (1.東工大フロンティア研、2.東工大元素セ)

キーワード：酸化物半導体、双極性、材料設計

高い可視光透明性を持つ双極性酸化物半導体は、次世代の透明エレクトロニクスを担う候補材料として大きな期待がある。我々は、禁制型のバンドギャップを持つ正方晶-酸硫化ジルコニウムに注目した。FとYを1atm%置換すると、伝導度は2-3桁上昇しゼーベック係数の符号反転が観察された。また、UPS測定の結果からVBMとCBMは真空準位からそれぞれ−5.6, −4.0eVとなり、双極性半導体に適したバンドアラインメントを持つことが分かった。