[16p-B5-1~15] 13.2 探索的材料物性・基礎物性

[16p-B5-2] BaSi₂蒸着膜中の酸素不純物に関する調査

〇原 康祐¹、山本 千綾¹、山中 淳二¹、有元 圭介¹、中川 清和¹、黒川 康良²、宇佐美 徳隆² (1.山梨大、2.名古屋大)

キーワード：バリウムシリサイド、真空蒸着