[16p-B5-1~15] 13.2 探索的材料物性・基礎物性

[16p-B5-5] 表面損傷を与えたSi基板におけるSi欠陥発光の寿命評価

〇扇 和也¹、岡 直大¹、池田 修哉¹、瀬戸島 健太¹、寺井 慶和¹ (1.九工大情報工)

キーワード：シリコン、欠陥発光、発光寿命