2017年第64回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(口頭講演)

13 半導体 » 13.2 探索的材料物性・基礎物性

[16p-B5-1~15] 13.2 探索的材料物性・基礎物性

2017年3月16日(木) 13:45 〜 17:45 B5 (B5)

末益 崇(筑波大)、山口 憲司(量研機構)

14:45 〜 15:00

[16p-B5-5] 表面損傷を与えたSi基板におけるSi欠陥発光の寿命評価

扇 和也1、岡 直大1、池田 修哉1、瀬戸島 健太1、寺井 慶和1 (1.九工大情報工)

キーワード:シリコン、欠陥発光、発光寿命