[16p-B5-1~15] 13.2 探索的材料物性・基礎物性

[16p-B5-6] Si/β-FeSi₂/Si 多結晶積層構造における1.5 μm 発光の寿命評価

〇池田 修哉¹、瀬戸島 健太¹、扇 和也¹、岡 直大¹、寺井 慶和¹ (1.九工大情工)

キーワード：β-FeSi2、フォトルミネッセンス、スパッタ