[16p-B6-1~16] 17.2 グラフェン

△ [16p-B6-12] アルコールCVD法による絶縁体基板上へのグラフェンの直接生成

〇(M2)辻本 茉里奈¹、村田 秀信¹、橘 勝¹ (1.横浜市大院　生命ナノ)

キーワード：CVD法、グラフェン、絶縁体基板

グラフェンの電子デバイス応用に向けて、絶縁体基板上へのグラフェンの直接生成が行われている。本研究では、エタノールを用いたアルコールCVD法によるサファイア基板上へのグラフェンの直接生成を試みた。結果として、大面積グラフェンの生成には達していないが、成長過程についていくつかの知見を得た。発表では、生成物の詳細な評価結果の報告と、絶縁体基板上でのグラフェンの成長過程を提案したい。