[16p-B6-1~16] 17.2 グラフェン

[16p-B6-16] 析出法によるSiO₂上へのグラフェン形成

〇村上 俊也¹、磯林 厚伸¹、井福 亮太²、松本 貴士²、梶田 明広¹ (1.(株)東芝、2.東京エレクトロン(株))

キーワード：グラフェン、固相析出、ラマン散乱分光法

固相析出法を用いて大面積な多層グラフェン形成に向けた検討をおこなっている。本研究では、熱処理前の基板の積層構造を工夫することで、比較的低温の熱処理によりSiO₂基板直上に非常に結晶性の高いグラフェンを得ることができた。