[16p-E204-1~8] 2.2 検出器開発

[16p-E204-2] 酸化物半導体を用いた重粒子線検出器の開発

〇三好 寿顕^1,2、小山 晃広³、大鷹 豊^3,4、島添 健次³、蛭海 元貴⁵、新田 宗孝⁵、錦戸 文彦⁶、山谷 泰賀⁶、尾上 孝雄¹、高橋 浩之³ (1.阪大、2.シャープ、3.東大、4.首都大、5.千葉大、6.量研機構放医研)

キーワード：酸化物半導体、重粒子、IGZO

重粒子線のビーム形状を高精細にモニタリングするために酸化物半導体素子を用いた検出器を試作した。検出器はガラス上に半導体を製膜する技術を用い，フォトダイオードと酸化物半導体を製膜することで製作した。検出器に重粒子線を照射し，ビーム形状を取得したので報告する。