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[16p-E204-7] Photon Counting CT応用に向けたSOI-PPDの開発
キーワード:アバランシェフォトダイオード、フォトンカウンティングCT、SOI
X 線光子ごとのエネルギーを判別することで、原子番号の推定が可能な Photon Counting Computed Tomography(PCCT)の開発が望まれている。PCCT の実現には20~100 keV のエネルギーをピクセル単位で高計数率に測定可能な検出器が必要とされ、最近では厚い吸収層を安価に製作可能であるシンチレータを用いた間接変換型の検出器が注目されている。そこで本研究では数10~数100 マイクロメートルピッチで分割されたシンチレータの光子数を、広いダイナミックレンジのもと高速検出可能な新たな微細ピクセル光検出器の開発を目指し、ガイガー増幅特性を検証可能なテストチップを製作、基礎検討実験を行った。