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[16p-E204-8] スルーレート制限型ToT ASIC の特性評価
キーワード:スルーレート制限型ToT
固体試料中の水素の深さ分布を知る方法の一つとしてERDA(Elastic Recoil Detection Analysis)という方法がある。90°分析電磁石と位置敏感型検出器を用いることで1原子層に相当する深さ分解能を達成している。位置敏感型検出器としてMCP(Micro Channel Plate)が用いられているが、計数率が制限されているなどの問題がある。この問題を解決するために、時間幅処理を組み込んだSlew Rate Limited Mode ToT ASICを設計、試作し、その評価を行った。