[16p-E206-1~17] 13.1 Fundamental properties, surface and interface, and simulations of Si related materials

[16p-E206-1] Analysis of ultra-trace metal in pure water using metal adsorption to PFA bottle

〇Masato Nakatsu¹ (1.Mie Fujitsu Semiconductor)

Keywords:trace metal analysis, pure water, PFA bottle

ウエーハを洗浄する純水は、金属濃度サブpptでもウエーハに影響を与えることがわかっている。従って、純水の汚染はこれ以下にする必要があるが、これは、純水の品質管理においても、この極微量の金属を分析する必要があると言える。しかし、通常のルーチン分析では定量下限は数pptであり、また、濃縮分析等は手間がかかり、日々の管理には適用できないので、簡単に0.1ppt 程度を分析できる技術が必要であると考えていた。そこで、PFAボトルが金属を微量吸着する性質があり、この吸着作用により純水中の金属を濃縮処理して、超微量分析ができないかを検討した。その結果、純水中の金属を0.1ppt、元素によってはそれ以下も分析することができた。