[16p-E206-1~17] 13.1 Si系基礎物性・表面界面・シミュレーション

[16p-E206-1] PFAボトルの金属吸着を利用した純水中超微量金属分析

〇中津 正人¹ (1.三重富士通ｾﾐｺﾝﾀﾞｸﾀｰ)

キーワード：微量金属分析、純水、PFAボトル

ウエーハを洗浄する純水は、金属濃度サブpptでもウエーハに影響を与えることがわかっている。従って、純水の汚染はこれ以下にする必要があるが、これは、純水の品質管理においても、この極微量の金属を分析する必要があると言える。しかし、通常のルーチン分析では定量下限は数pptであり、また、濃縮分析等は手間がかかり、日々の管理には適用できないので、簡単に0.1ppt 程度を分析できる技術が必要であると考えていた。そこで、PFAボトルが金属を微量吸着する性質があり、この吸着作用により純水中の金属を濃縮処理して、超微量分析ができないかを検討した。その結果、純水中の金属を0.1ppt、元素によってはそれ以下も分析することができた。