[16p-E206-1~17] 13.1 Si系基礎物性・表面界面・シミュレーション

△ [16p-E206-3] チオ硫酸ナトリウムを添加したフッ酸で処理したGe(111)表面の構造評価

〇藤島 優介¹、鈴木 仁¹、坂上 弘之¹ (1.広大先端研)

キーワード：ゲルマニウム、XPS、硫黄

我々は、亜硫酸ナトリウムや亜硫酸を添加したフッ酸で処理したGe表面は硫黄終端され、水素終端表面よりも酸化されにくいことを報告した。しかし、表面に酸素が残存しており、硫黄終端表面としては不十分である。そこで、本研究では別の試薬として、亜硫酸ナトリウムや亜硫酸の代わりに、チオ硫酸ナトリウムを添加したフッ酸でGe表面の処理をおこなった。