[16p-F203-1~15] 17.3 Layered materials

△ [16p-F203-10] Pinpoint pick up & bubble-free assembly of 2D materials using PDMS/PMMA with lens shape

〇Satoshi Toyoda¹, Teerayut Uwanno¹, Kosuke Nagashio^1,2 (1.Tokyo Univ., 2.PRESTO-JST)

Keywords:assenbly

・レンズ形状のPDMS/PMMAを用いてBNのピックアップ/積層を行った
・高い確率でBNピックアップを割れずに成功させた
・先行研究と同様に、高温でゆっくりBN同士を貼りあわせるとバブルが追い出せた