[16p-F203-1~15] 17.3 層状物質

[16p-F203-2] スパッタ堆積MoS₂薄膜の表面粗さスケーリング解析による配向性評価

〇石原 聖也^1,3、大野 文太¹、日比野 祐介¹、澤本 直美¹、大橋 匠²、松浦 賢太朗²、若林 整²、小椋 厚志¹ (1.明治大、2.東工大、3.学振特別研究員)

キーワード：二硫化モリブデン