[16p-F204-1~15] CS.1 3.13 半導体光デバイス,3.15シリコンフォトニクスのコードシェアセッション

[16p-F204-7] [講演奨励賞受賞記念講演] 貼り合わせ法を用いた高性能InGaAsP/Si hybrid MOS型光変調器

〇韓 在勲^1,2、高木 信一¹、竹中 充¹ (1.東大院工、2.学振DC1)

キーワード：シリコンフォトニクス、MOS型光変調器、InGaAsP/Si hybrid MOS