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[16p-F206-13] 陽極酸化アルミナを用いたノ構造有する QCMの創製
キーワード:ナノ構造、バイオセンサ
水晶振動子マイクロバランス(Quartz crystal microbalance : QCM)センサは、ガスセンサやバイオセンサに利用されてきた。しかし、重量変化を検出するため、低分子量物質を高感度に検出できない欠点がある。その欠点を補うためセンサ電極上に任意の構造を形成することで表面積を増加させ、センサ感度を向上できると考えられる。本研究では、センサ電極上にナノ構造を形成し、比表面積の増大によるセンサ感度の上昇を目指した。