[16p-P1-1~9] 3.7 レーザープロセシング

[16p-P1-3] 超短光パルスマイクロ接合後の試料境界面の形状観察

〇(B)横田 理樹¹、渡邉 歴²、玉木 隆幸¹ (1.奈良高専、2.立命館大院工)

キーワード：マイクロ接合、フェムト秒レーザー、マイクロ加工

本研究では超短光パルスマイクロ接合後の試料境界面の形状観察についての報告する．波長 1.06 μm，パルス幅250 fsec，繰返し周波数 1 MHzの超短光パルスにより２枚の白板ガラス（B270, 50 mm × 50 mm 厚さ1 mm; Schott）を接合した．接合後の試料を引張り試験機，および，共焦点レーザー顕微鏡にかけ，接合強度と試料分離後の試料表面の高さとの関係を評価した．