[16p-P13-1~21] 3.12 Nanoscale optical science and near-field optics

[16p-P13-11] Fabrication and evaluation of high-performance plasmonic nanoarray structure

〇(D)Tomohiro Mori¹, Takeshi Mori², Yasuhiro Tanaka¹, Yoshifumi Suzaki¹, Kenzo Yamaguchi¹ (1.Kagawa Univ., 2.Ind. Tech. Ctr. of Wakayama Pref.)

Keywords:Plasmonics, Focused Ion Beam

プラズモニクスで利用される金属ナノ構造の作製の一つに、集束イオンビームを用いた金属薄膜からの成形方法がある。多結晶金属薄膜の結晶粒界を代表する内部欠陥は、光損失の要因となるため、単結晶金属薄膜の積極利用が期待されている。今回、NaCl(001)基板上にエピタキシャル成長したAg薄膜を利用することで、従来困難であった透明非晶質基板上への単結晶金属薄膜の形成およびナノ構造体の作製法を見出したので報告する。