[16p-P13-1~21] 3.12 ナノ領域光科学･近接場光学

[16p-P13-13] 紫外域サブ波長ビーム集光用プラズモニックレンズの評価

〇土山 晃裕¹、三浦 祐介¹、武田 実¹、井上 勉²、會澤 見斗² (1.京都工芸繊維大学、2.日本分光)

キーワード：プラズモニクス

表面プラズモンを利用した紫外波長域用のプラズモニックレンズを、Al薄膜に多重のリング状スリットを有する構造で設計した。石英基板表面のAl膜をFIB加工することによりプラズモニックレンズを作製し、波長 375nmのLDを用いてその集光特性を近接場光学顕微鏡で測定評価した。2.2μmの焦点距離において半値幅で約270nmの集光スポットの形成を確認した。講演ではこれらの測定結果と FDTD 解析との比較検討について報告する。