[16p-P15-1~20] 9.2 ナノワイヤ・ナノ粒子

[16p-P15-11] 自己触媒VLS法によるInP/GaInAsヘテロ構造ナノワイヤのTMI供給量依存性

〇(B)石田 勝晃¹、朝倉 啓太¹、高野 紘平¹、善村 聡至¹、下村 和彦¹ (1.上智大理工)

キーワード：InPナノワイヤ、自己触媒VLS、MOVPE