[16p-P15-1~20] 9.2 Nanowires and Nanoparticles

[16p-P15-13] Demonstration of hole gas accumulation control in Ge/Si core-shell nanowires

〇Kotaro Nishibe^1,2, Xiaolong Zhang^1,2, Toshiaki Takei², Thiyagu Subramani², Wipakorn Jevasuwan², Naoki Fukata^1,2 (1.Univ. of Tsukuba, 2.NIMS)

Keywords:nanowires, transistor, Si/Ge

Ge/Siコアシェルナノワイヤの形成およびホールガス形成の実証を行った．Ge/Siコアシェルナノワイヤとして初めて，Siシェル層からGeコア層へのホールガス形成を実験的に確認した．