[16p-P15-1~20] 9.2 ナノワイヤ・ナノ粒子

[16p-P15-13] Ge/Siコアシェルナノワイヤ中のホールガス形成制御の実証

〇西部 康太郎^1,2、Zhang Xiaolong^1,2、武井 俊朗²、Subramani Thiyagu²、Jevasuwan Wipakorn²、深田 直樹^1,2 (1.筑波大院、2.物材機構)

キーワード：ナノワイヤ、トランジスタ、シリコン/ゲルマニウム

Ge/Siコアシェルナノワイヤの形成およびホールガス形成の実証を行った．Ge/Siコアシェルナノワイヤとして初めて，Siシェル層からGeコア層へのホールガス形成を実験的に確認した．