[16p-P15-1~20] 9.2 Nanowires and Nanoparticles

[16p-P15-2] Fabrication of humidity sensor based on silicon-nanocrystal film

〇Kwangsoo Kim¹, Shinya Kano¹, Minoru Fujii¹ (1.Kobe Univ.)

Keywords:silicon nanocrystal, humidity sensor, thin film

我々のグループでは、ホウ素とリンを高濃度に含む無機シェルで表面保護された、極性溶媒中に均一分散するSiナノ結晶コロイドを開発している。本Siナノ結晶コロイドを塗付した薄膜では、薄膜の電気伝導度が表面吸着水の有無により大きく変化することが示唆されている。この結果を応用し、Siナノ結晶塗布薄膜を感湿膜とした湿度センサの開発をめざす。講演では、Siナノ結晶塗布薄膜の電気伝導度の湿度依存性を評価したので報告する。