[16p-P15-1~20] 9.2 ナノワイヤ・ナノ粒子

[16p-P15-2] シリコンナノ結晶塗布薄膜を用いた湿度センサの開発

〇金 光秀¹、加納 伸也¹、藤井 稔¹ (1.神戸大工)

キーワード：シリコンナノ結晶、湿度センサ、薄膜

我々のグループでは、ホウ素とリンを高濃度に含む無機シェルで表面保護された、極性溶媒中に均一分散するSiナノ結晶コロイドを開発している。本Siナノ結晶コロイドを塗付した薄膜では、薄膜の電気伝導度が表面吸着水の有無により大きく変化することが示唆されている。この結果を応用し、Siナノ結晶塗布薄膜を感湿膜とした湿度センサの開発をめざす。講演では、Siナノ結晶塗布薄膜の電気伝導度の湿度依存性を評価したので報告する。