[16p-P2-1~7] 6.1 Ferroelectric thin films

[16p-P2-7] Direct measurement of the electrocaloric effect by SPM system

〇Yuji Matsushita¹, Takeshi Yoshimura¹, Norifumi Fujimura¹ (1.Osaka Pref. Univ.)

Keywords:Electrocaloric effect, Atomic Force Microscopy, Scanning Joule Expansion Microscopy

近年、強誘電体の電気熱量効果が注目を集めている。ヒートポンプ応用を考えたとき、熱伝導度や熱抵抗などの強誘電体薄膜の熱物性を明らかにする必要がある。今回、SPMを用いた走査ジュール熱膨張顕微鏡（SJEM）を用いた電気熱量効果の直接測定に取り組んだ。BaTiO₃薄膜上にPt電極を製膜し、その試料上にPPMAを塗布したサンプル上で測定をした結果、EC由来の熱膨張が確認できた。