[16p-P3-1~23] 6.2 カーボン系薄膜

[16p-P3-1] CN薄膜へのアニーリング効果

〇野々村 秋人¹、佐竹 聖樹²、中村 重之³、財部 健一⁴、福井 一俊⁵、澤畠 淳二⁶、伊藤 國雄¹、番 貴彦¹、山本 伸一¹ (1.龍谷大理工、2.明石高専、3.津山高専、4.岡山理大、5.福井大学、6.茨城高専)

キーワード：窒化炭素