[16p-P3-1~23] 6.2 カーボン系薄膜

[16p-P3-12] CVDホモエピ薄膜中に形成されるドーム状成長丘の微細構造

〇坪内 信輝¹、小倉 政彦¹、杢野 由明¹、牧野 俊晴¹ (1.産総研先進パワエレRC)

キーワード：ダイヤモンド、成長丘

マイクロ波プラズマCVD法によるホモエピ膜の表面にしばしば出現する成長欠陥のひとつのドーム状成長丘について、その外形モフォロジーと内部の微細構造観察を行った。その結果、成長丘内部には部分的に非常に高密度の転位の存在を示唆する黒い線状のコントラスト見られる。一方、その内部の回折図形は、薄膜や基板と全く同様の単結晶パターンを示した。また、方位の異なる複数の分域構造も見られない。