[16p-P3-1~23] 6.2 カーボン系薄膜

[16p-P3-14] ラマン分光法によるダイヤモンドドーピング分布の評価

〇(M1C)土田 有記¹、山口 浩司¹、亀井 栄一¹、福永 大輔¹、大谷 昇¹、鹿田 真一¹ (1.関学大理工)

キーワード：半導体、ダイヤモンド、ラマン分光法

我々は、これまで高濃度ドープによるラマン対称性の崩れに起因するピークを用いてB濃度微細マッピングを行ってきたが、今回p+ HPHT結晶とCVDによるp+エピ薄膜の濃度分布について比較検討を行った。結晶及びp+ CVD薄膜結晶についてラマン測定を行ったところ、ドーピング起因のブロードなピークがそれぞれ確認される。このピークを用いたマッピングよりCVD薄膜結晶は、p+ HPHT結晶と比較して、ドーピング均一性が高いことがわかった。