[16p-P3-1~23] 6.2 カーボン系薄膜

[16p-P3-16] ホウ素添加ホモエピタキシャル成長ダイヤモンド薄膜の過渡光容量法を用いた結晶欠陥評価

〇児玉 大志¹、毎田 修¹、伊藤 利道¹ (1.阪大院工)

キーワード：ダイヤモンド、光容量