2017年第64回応用物理学会春季学術講演会

講演情報

一般セッション(ポスター講演)

6 薄膜・表面 » 6.2 カーボン系薄膜

[16p-P3-1~23] 6.2 カーボン系薄膜

2017年3月16日(木) 13:30 〜 15:30 P3 (展示ホールB)

13:30 〜 15:30

[16p-P3-2] MgO粉末を用いたアモルファス窒化炭素薄膜の特性評価

吉岡 慎吾1、野々村 秋人1、磯川 裕哉1、佐竹 聖樹2、中村 重之3、財部 健一4、福井 一俊5、澤畠 淳二6、伊藤 國雄1、番 貴彦1、山本 伸一1 (1.龍谷大理工、2.明石高専、3.津山高専、4.岡山理大、5.福井大学、6.茨城高専)

キーワード:非晶質窒化炭素